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氣體用質(zhì)量流量計(jì)的工作原理與特點(diǎn)

更新時(shí)間:2025-06-17點(diǎn)擊次數(shù):62
  氣體質(zhì)量流量計(jì)直接測(cè)量氣體的質(zhì)量流量,無需溫度和壓力補(bǔ)償,其核心工作原理與應(yīng)用領(lǐng)域如下:
 
  一、工作原理
 
  ‌1、熱式原理‌
 
  ‌恒溫差法‌:傳感器含兩個(gè)鉑熱電阻,一個(gè)加熱至恒定溫差(速度傳感器),另一個(gè)檢測(cè)氣體溫度。氣體流經(jīng)時(shí)帶走熱量,維持溫差所需的電流增量與質(zhì)量流量成正比。
 
  ‌恒功率法‌:保持加熱功率恒定,通過測(cè)量溫度差結(jié)合氣體定壓比熱容計(jì)算質(zhì)量流量。
 
  ‌適用性‌:適合低流速、小管徑場(chǎng)景(如半導(dǎo)體制造、實(shí)驗(yàn)室微流量檢測(cè))。
 
  ‌2、科里奧利原理‌
 
  氣體流經(jīng)高頻振動(dòng)的測(cè)量管時(shí)產(chǎn)生科里奧利力,導(dǎo)致管道相位偏移,偏移量與質(zhì)量流量成正比。
 
  ‌優(yōu)勢(shì)‌:精度高,不受氣體物性(密度、粘度)影響。
 
  ‌局限‌:成本較高,體積較大,適用于高精度需求場(chǎng)景。
 
  二、應(yīng)用領(lǐng)域
 
  ‌1、工業(yè)過程控制‌
 
  ‌能源與化工‌:天然氣貿(mào)易結(jié)算、化工廠反應(yīng)氣體配比、氨氣流量監(jiān)測(cè)。
 
  ‌冶金與電力‌:高爐煤氣計(jì)量、鍋爐燃?xì)?空氣送風(fēng)控制。
 
  ‌2、高精度與特殊場(chǎng)景‌
 
  ‌半導(dǎo)體制造‌:蝕刻氣、沉積氣等工藝氣體的精準(zhǔn)控制。
 
  ‌環(huán)保監(jiān)測(cè)‌:煙道氣排放計(jì)量、沼氣回收利用。
 
  ‌實(shí)驗(yàn)室研發(fā)‌:微流量氣體實(shí)驗(yàn)、流體動(dòng)力學(xué)研究。
 
  ‌3、公用設(shè)施管理‌
 
  燃?xì)夥峙溆?jì)量、管道氣體泄漏檢測(cè)、水處理中氣體投加控制。
 
  三、核心優(yōu)勢(shì)
 
  ‌1、直接輸出質(zhì)量流量‌:避免體積流量計(jì)所需的密度換算和溫壓補(bǔ)償。
 
  ‌2、高適應(yīng)性‌:適用于腐蝕性氣體、混合氣體及工況波動(dòng)的復(fù)雜環(huán)境。
 
  ‌3、寬量程比‌:部分熱式流量計(jì)可覆蓋低速至高速的流量范圍。
 
  四、選型關(guān)鍵
 
  ‌1、氣體特性‌:潔凈度、腐蝕性、比熱容。
 
  ‌2、工況參數(shù)‌:管徑尺寸、流量范圍、溫度/壓力極限。
 
  提示:在腐蝕性氣體或?qū)挏貕翰▌?dòng)場(chǎng)景中,熱式流量計(jì)需根據(jù)氣體 校準(zhǔn),科里奧利流量計(jì)則更適合高精度貿(mào)易結(jié)算。

 

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